加熱臺
加熱臺
低噪聲，低壓直流電驅(qū)動
隔離套裝實現(xiàn)PA級電信測試精度
雙路水循環(huán)，隔絕水循環(huán)保護(hù)chuck底座
可以在絕大多數(shù)探針臺上加裝
隔離套裝實現(xiàn)PA級電信測試精度
雙路水循環(huán)，隔絕水循環(huán)保護(hù)chuck底座
可以在絕大多數(shù)探針臺上加裝
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| 樣品變溫臺 | |
| 規(guī)格 | |
| 真空吸附載物臺的尺寸 | 4, 6, 8,12英寸直徑，1英寸厚度 |
| Chuck 平整度 | ±10 微米 |
| 控溫范圍 | 常溫到300攝氏度 |
| 控溫精度 | 0.1℃ |
| 溫度穩(wěn)定度 | ±0.1℃ |
| 從25 ℃開始升溫時間 | 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃ 300 ℃ |
| (4 英寸chuck，單位為分鐘：秒 ) | 1:00 2:30 3:00 4:30 |
| 電源 | 直流 |
| 材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 需求 | |
| 供電 | 220 VAC, 60Hz |
| 電力消耗 | 4英寸chuck 700W |
| 6英寸chuck 1000W | |
| 8英寸chuck 1500 W | |
| 真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
| 循環(huán)水 | 20 Liter/Min |
| 尺寸 | |
| 控制器 350mm長 x 300mm寬 x 150mm高 | |
| 重20 Kg | |
| 特點 | |
| 低噪聲，低壓直流電驅(qū)動 | |
| 隔離套裝實現(xiàn)PA級電信測試精度 | |
| 雙路水循環(huán)，隔絕水循環(huán)保護(hù)chuck底座 | |
| 可以在絕大多數(shù)探針臺上加裝 | |
| 易于裝卸 | |
| 附件 | |
| 高溫配件，可以升溫至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃ | |
| 低溫配件，可以冷卻至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫至-196 ℃ | |
| 用于其他品牌探針臺的安裝轉(zhuǎn)接口 | |
| 方形chuck | |
| 更高溫度控制精度 | |
| 更高溫度均勻性 | |
| 更快速的升溫配件 | |
| 水冷箱 | |
| 更低電流測試用的同軸/三軸卡盤 | |
| 匹配真空腔體配件 | |
| 匹配屏蔽腔體配件 | |
| 多孔吸附方式 | |
| 鍍金的chuck | |
| 鍍鎳的chuck | |
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